碳化硅抛光液主要成分是纳米级的二氧化硅溶胶，颗粒经过专门优化设计，抛光材料表面质量更佳，细划伤、平整度均能达到要求，可以提高良品率。使用简单，产品具有很好的流动性和分散性。该产品还具有不易结晶、易清洗、抛光效率高等优点，可以满足碳化硅晶片的精抛加工要求，也可根据客户工艺调整做定制化产品。